原理描述
采用硅片上經(jīng)表面微加工的多晶硅結構，用多晶硅的彈性元件支撐并提供加速度平衡所需的阻力，結構偏轉是通過(guò)有獨立的固定極板和附加在移動(dòng)物體上的中央極板組成的可變電容來(lái)測量的，固定極板通過(guò)方波的每π個(gè)相位來(lái)控制，加速度傳感器受到加速度作用后改變了平衡，使輸出信號的幅度與加速度成正比。
本加速度傳感器是雙軸電壓輸出型和PWM輸出兩用傳感器，輸出與加速度成正比的電壓信號或者輸出與加速度成正比的PWM信號。可以直接進(jìn)行AD采樣或者與微處理器連接。測量范圍正負10g，在測量范圍內有較高的精度，可以測量靜態(tài)或者動(dòng)態(tài)加速度，傳感器內部集成了高精密電壓源，工作電壓范圍寬，壓鑄鋁或者塑料防水外殼可選，該加速度傳感器將在慣性導航、地震監測、交通安全、運動(dòng)測量、電力機械等領(lǐng)域得到廣泛的應用。
三、傳感器特點(diǎn)：
（1）X、Y雙軸測量。
（2）寬量程、高精度
（3）低功耗，平均功耗小于15mA
(4) 可承受高達1000g加速度的沖擊
（5）寬電壓工作，或可定制DC5V、DC12V、DC24V、DC36V等。
（6）高防護等級，其中帶耳壓鑄鋁外殼防護等級IP67。
（7）傳感器具有自測功能。在上電時(shí)可自動(dòng)完成自測校準。
（8）電壓輸出和PWM輸出兩用。
（9）內部全密封灌膠，低溫依賴(lài)性好。
四、技術(shù)參數
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項目 |
最小值 |
典型值 |
最大值 |
備注 |
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量程 |
±10g |
其他量程 | ||
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非線(xiàn)性 |
0.2%FS |
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測量誤差 |
0.2% |
1% |
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電壓輸出靈敏度 |
85mv/g |
100 mv/g |
125 mv/g |
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零點(diǎn)占空比輸出 |
44% |
50% |
56% |
@25℃ |
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零點(diǎn)電壓輸出 |
2.3V |
2.5V |
2.7V |
@25℃ |
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帶寬 |
6K |
3dB | ||
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電源電壓 |
6 |
12 |
15 |
可定制其他 |
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溫度范圍 |
-40℃ |
25℃ |
80℃ |
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尺寸 |
可選 |
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電纜線(xiàn) |
1米 |
默認，可定制 |
